‘পরম’ শব্দের অর্থ অত্যন্ত আর অণু শব্দের অর্থ ক্ষুদ্র। পরমাণু শব্দের অর্থ অত্যন্ত ক্ষুদ্র। মৌলিক পদার্থের যে ক্ষুদ্রতম কণা অবিভাজ্য অবস্থায় রাসায়নিক বিক্রিয়ায় অংশগ্রহন করে এবং যার মধ্যে মৌলিক পদার্থটির সকল ভৌত ও রাসায়নিক ধর্ম বর্তমান থাকে তাকে পরমাণু বলে।
যেমনঃ অক্সিজেন একটি পরমাণু।